WEKO3
アイテム
逆格子マッピングによる成長初期のInGaAs/GaAs(001)界面のミスフィット転位の解析
http://hdl.handle.net/10458/4717
http://hdl.handle.net/10458/47177333c397-de31-4c34-a4f7-5e446229eaa2
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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engineering85-88.pdf (632.0 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2013-12-26 | |||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||
| タイトル | 逆格子マッピングによる成長初期のInGaAs/GaAs(001)界面のミスフィット転位の解析 | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Analysis of Misfit Dislocations at the Interface of (001) InGaAs/GaAs by Reciprocal Space Mapping | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||
| 主題 | GaAs, lattice mismatched solar sell, reciprocal space mapping, misfit dislocation | |||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||||||||||||||||||||
| その他のタイトル | ギャク コウシ マッピング ニヨル セイチョウ ショキ ノ InGaAs/GaAs(001) カイメン ノ ミスフィット テンイ ノ カイセキ | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||||||||||||
| 著者 |
松下, 卓哉
× 松下, 卓哉× 高比良, 潤× 境, 健太郎
WEKO
12634
× 前田, 幸治
WEKO
12047
× 鈴木, 秀俊
WEKO
14196
× Matsushita, Takuya× 高比良, 潤 |
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| 抄録 | ||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | Distribution of misfit dislocations (MDs) formed at the interface of InGaAs/GaAs(001) structure with different InGaAs thickness was investigated by X-ray reciprocal space mapping (RSM) techniques. Satellite peaks (Ps) were observed at the side of InGaAs 004 Bragg peak in RSM. Ps peaks were originated from scattering by lattices deformed by MDs. Peak position and full width at half maximum of Ps represented the mean tilt angle of crystal lattices caused by MDs and variation of them. These results were agreement with the results of X-ray topography. Based on these results, the same analysis were performed on the films with different In composition. | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||
| bibliographic_information |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 42, p. 85-88, 発行日 2013-08-30 |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||||||||||||||||||||
| item_10002_source_id_11 | ||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||
