WEKO3
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ラマン分光法における励起光の侵入長を考慮した薄膜の評価方法
http://hdl.handle.net/10458/5877
http://hdl.handle.net/10458/58779a50a09a-8e90-4771-981d-25a915503463
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文 (679.2 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2020-06-21 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | ラマン分光法における励起光の侵入長を考慮した薄膜の評価方法 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Evaluation Method of Thin Films in Consideration of Penetration Depth of Excitation Light by Raman Spectroscopy | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Raman, Evaluation method, Penetration depth, GaAsN | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
橋本, 英明
× 橋本, 英明× 山本, 大貴× 吉留, 寛貴× 横山, 祐貴× 前田, 幸治× 鈴木, 秀俊× 橋本, 英明× Yamamoto, Hiroki× Yoshidome, Hiroki× 横山, 祐貴 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Raman measurements was performed using two different wavelengths lasers for three different kinds of thickness GaAsN / GaAs thin film. We have compared two methods of fitting. One was fitted with TO and LO peak of sample and another was fitted with 3 peaks, TO, LO and the substrate GaAs LO peak. It was found that the signal from the substrate was superimposed on the signal from the upper layer. In the care of thin film Raman measurement, it is necessary either using the excitation light having the shorter penetration depth than the film thickness or analyzing process to eliminate the influence of the substrate. | |||||
| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 45, p. 87-89, 発行日 2016-07-31 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
