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  1. 工学部
  1. 工学部
  2. 紀要掲載論文 (工学部)
  1. 工学部
  2. 紀要掲載論文 (工学部)
  3. 宮崎大學工學部紀要
  4. 45号

ラマン分光法における励起光の侵入長を考慮した薄膜の評価方法

http://hdl.handle.net/10458/5877
http://hdl.handle.net/10458/5877
9ebd7100-f6ea-4e9f-aecf-df65d841efe6
名前 / ファイル ライセンス アクション
p87.pdf 本文 (679.2 kB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2020-06-21
タイトル
タイトル ラマン分光法における励起光の侵入長を考慮した薄膜の評価方法
言語 ja
タイトル
タイトル Evaluation Method of Thin Films in Consideration of Penetration Depth of Excitation Light by Raman Spectroscopy
言語 en
言語
言語 jpn
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 Raman, Evaluation method, Penetration depth, GaAsN
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ departmental bulletin paper
著者 橋本, 英明

× 橋本, 英明

WEKO 27202

ja 橋本, 英明

ja-Kana ハシモト, ヒデアキ

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山本, 大貴

× 山本, 大貴

WEKO 27203

ja 山本, 大貴

ja-Kana ヤマモト, ヒロキ

Search repository
吉留, 寛貴

× 吉留, 寛貴

WEKO 27204

ja 吉留, 寛貴

ja-Kana ヨシドメ, ヒロキ

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横山, 祐貴

× 横山, 祐貴

WEKO 27205

ja 横山, 祐貴

ja-Kana ヨコヤマ, ユウキ

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前田, 幸治

× 前田, 幸治

WEKO 12047
e-Rad 50219268

en Maeda, Koji
Maeda, Kouji

ja 前田, 幸治

ja-Kana マエダ, コウジ

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鈴木, 秀俊

× 鈴木, 秀俊

WEKO 14196

ja 鈴木, 秀俊

ja-Kana スズキ, ヒデトシ

en Suzuki, Hidetoshi

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Hashimoto, Hideaki

× Hashimoto, Hideaki

WEKO 27208

en Hashimoto, Hideaki

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Yamamoto, Hiroki

× Yamamoto, Hiroki

WEKO 27209

en Yamamoto, Hiroki

Search repository
Yoshidome, Hiroki

× Yoshidome, Hiroki

WEKO 27210

en Yoshidome, Hiroki

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Yokoyama, Yuuki

× Yokoyama, Yuuki

WEKO 27211

en Yokoyama, Yuuki

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Raman measurements was performed using two different wavelengths lasers for three different kinds of thickness GaAsN / GaAs thin film. We have compared two methods of fitting. One was fitted with TO and LO peak of sample and another was fitted with 3 peaks, TO, LO and the substrate GaAs LO peak. It was found that the signal from the substrate was superimposed on the signal from the upper layer. In the care of thin film Raman measurement, it is necessary either using the excitation light having the shorter penetration depth than the film thickness or analyzing process to eliminate the influence of the substrate.
言語 en
書誌情報 ja : 宮崎大学工学部紀要
en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki

巻 45, p. 87-89, 発行日 2016-07-31
出版者
出版者 宮崎大学工学部
言語 ja
出版者
出版者 Faculty of Engineering, University of Miyazaki
言語 en
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 05404924
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA00732558
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
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Ver.2 2023-07-30 04:19:58.994583
Ver.1 2023-05-15 10:53:00.166606
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