WEKO3
アイテム
真空紫外光CVDによる次世代積層型システムLSI作製用要素プロセス技術の開発
http://hdl.handle.net/10458/4228
http://hdl.handle.net/10458/4228352bdf1f-3a94-40ed-a013-a124fe0b785b
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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kameyama.pdf (9.4 MB)
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| Item type | 報告書 / Research Paper(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2012-12-17 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | 真空紫外光CVDによる次世代積層型システムLSI作製用要素プロセス技術の開発 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | The development of the element process technology for the new type LSI of the product layer by VUV-CVD | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | Sip, System LSI, System in Package, VUV-CVD, femto-second laser | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | エキシマランプ, システムLSI, フェムト秒レーザー, 光CVD, 半導体絶縁膜, 真空紫外, 真空紫外光, 真空紫外光CVD, 積層型システムLSI | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||||||||
| 資源タイプ | research report | |||||||||||
| 研究代表者 |
亀山, 晃弘
× 亀山, 晃弘
WEKO
13615
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| 内容記述 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||
| 内容記述 | 平成15年―平成17年度科学研究費補助金(基盤(B))研究成果報告書 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 権利 | ||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 権利情報 | 学術雑誌掲載論文の抜き刷りは出版社に著作権許諾が得られていないため未掲載 | |||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1063/1.1652239 | |||||||||||
| 関連名称 | http://dx.doi.org/10.1063/1.1652239 | |||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.44.1019 | |||||||||||
| 関連名称 | http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.44.1019 | |||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.44.7998 | |||||||||||
| 関連名称 | http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.44.7998 | |||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.44.7785 | |||||||||||
| 関連名称 | http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.44.7785 | |||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2005.03.055 | |||||||||||
| 関連名称 | http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2005.03.055 | |||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1889/1.1927739 | |||||||||||
| 関連名称 | http://dx.doi.org/10.1889/1.1927739 | |||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||
| 識別子タイプ | HDL | |||||||||||
| 関連識別子 | http://hdl.handle.net/10458/250 | |||||||||||
| 関連名称 | http://hdl.handle.net/10458/250 | |||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||
| 識別子タイプ | HDL | |||||||||||
| 関連識別子 | http://hdl.handle.net/10458/251 | |||||||||||
| 関連名称 | http://hdl.handle.net/10458/251 | |||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||
| 識別子タイプ | HDL | |||||||||||
| 関連識別子 | http://hdl.handle.net/10458/252 | |||||||||||
| 関連名称 | http://hdl.handle.net/10458/252 | |||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||
| 識別子タイプ | HDL | |||||||||||
| 関連識別子 | http://hdl.handle.net/10458/307 | |||||||||||
| 関連名称 | http://hdl.handle.net/10458/307 | |||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||
| 識別子タイプ | HDL | |||||||||||
| 関連識別子 | http://hdl.handle.net/10458/310 | |||||||||||
| 関連名称 | http://hdl.handle.net/10458/310 | |||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||
| 識別子タイプ | HDL | |||||||||||
| 関連識別子 | http://hdl.handle.net/10458/374 | |||||||||||
| 関連名称 | http://hdl.handle.net/10458/374 | |||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||
