@techreport{oai:miyazaki-u.repo.nii.ac.jp:00003175,
 author = {Kameyama, Akihiro and 亀山, 晃弘},
 month = {2020-06-21},
 note = {平成15年―平成17年度科学研究費補助金(基盤(B))研究成果報告書},
 title = {真空紫外光CVDによる次世代積層型システムLSI作製用要素プロセス技術の開発},
 year = {},
 yomi = {カメヤマ, アキヒロ}
}