WEKO3
アイテム
Gaを添加した酸化亜鉛膜の熱処理効果
http://hdl.handle.net/10458/3595
http://hdl.handle.net/10458/35956a660b3e-12b0-49ff-be0d-198462bfaa29
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
14engineering40_pp.71-74.pdf (477.7 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2012-03-09 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Gaを添加した酸化亜鉛膜の熱処理効果 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Annealing effect of Ga doped ZnO thin film | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Zinc oxide, GZO, Ion plating, Annealing treatment | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Ga オ テンカ シタ サンカ アエンマク ノ ネツショリ コウカ | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| 著者 |
新宮, 政人
× 新宮, 政人× 吉野, 賢二× 碇, 哲雄× 新宮, 政人 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Gallium doped zinc oxide (GZO) films were prepared by ion plating. Heat treatment of the samples was carried out. The samples prepared with a hexagonal wurtzite structure were evaluated by X-ray diffraction, scanning electron microscopy, transmission measurement and hall measurements. GZO films showed a high visible light transparency and the resistivity showed 2.4 × 10-4 Ωcm. Resistivity increased in the Annealing treatment under oxygen atmosphere at 400 ～ 500 ℃. This was considered to contribute to the reduction of surface oxygen vacancies. | |||||
| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 40, p. 71-74, 発行日 2011-07-30 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
