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アイテム
原子層エピタキシー法によるGaAs(001)基板上のMnAs成長
http://hdl.handle.net/10458/834
http://hdl.handle.net/10458/834d640d21a-12a0-4e1e-8082-0548b60bb262
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KJ00004682864.pdf (417.0 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2007-10-30 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 原子層エピタキシー法によるGaAs(001)基板上のMnAs成長 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Atomic layer epitaxy of MnAs on GaAs(001) | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Atomic layer epitaxy, Inorganic compounds, Magnetic materials | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | ゲンシソウ エピタキシーホウ ニ ヨル GaAs(001) キバンジョウ ノ MnAs セイチョウ | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| 著者 |
原口, 智宏
× 原口, 智宏× 尾関, 雅志× 藤田, 陽× 原口, 智宏× 藤田, 陽 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Atomic layer epitaxy(ALE) of MnAs on GaAs(001) has been investigated using bismethylcyclopentadienylmanganes(CH3C5CH4)2Mn and trisdimethylaminoarsine As[N(CH3)2] for manganese and arsenic precursors, respectively. The α-MnAs layer of "type B" orientation was successfully grown by an alternative source supply with a wide growth temperature range from 320 to 500℃. The grown layer showed a smooth surface morphology, reflecting the self-limiting growth. The decresed growth rate was observed was realized at higher growth temperatures but the saturation thickness was 9.5×10(-2)nm/cycle, which was attributed to the formation of a stable surface-reconstruction of manganese stabilized surface. | |||||
| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 36, p. 37-41, 発行日 2007-08-30 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
