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  1. 工学部
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  2. 紀要掲載論文 (工学部)
  1. 工学部
  2. 紀要掲載論文 (工学部)
  3. 宮崎大學工學部紀要
  1. 工学部
  2. 紀要掲載論文 (工学部)
  3. 宮崎大學工學部紀要
  4. 35号

磁気中性線放電プラズマを用いたカーボンナノチューブの作製

http://hdl.handle.net/10458/421
http://hdl.handle.net/10458/421
c4acc013-38c2-40cf-9892-adfd7830b212
名前 / ファイル ライセンス アクション
KJ00004439496.pdf KJ00004439496.pdf (1.5 MB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2007-06-28
タイトル
タイトル 磁気中性線放電プラズマを用いたカーボンナノチューブの作製
言語 ja
タイトル
タイトル Production of Carbon Nanotubes by Neutral Loop Discharge Plasma
言語 en
言語
言語 jpn
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 Neural Loop Discharge(NLD), Carbon Nanotubes(CNT)
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ departmental bulletin paper
その他(別言語等)のタイトル
その他のタイトル ジキ チュウセイセン ホウデン プラズマ オ モチイタ カーボン ナノチューブ ノ サクセイ
言語 ja-Kana
著者 川尻, 晋平

× 川尻, 晋平

WEKO 15997

ja 川尻, 晋平

ja-Kana カワシリ, シンペイ

en Kawashiri, Shinpei


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楊, 鍾煥

× 楊, 鍾煥

WEKO 12398

楊, 鍾煥

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井上, 大士

× 井上, 大士

WEKO 12399

ja 井上, 大士

ja-Kana イノウエ, ダイシ

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成, 烈汶

× 成, 烈汶

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en Sung, Youl-Moon
Sung, Youl Moon

ja 成, 烈汶

ja-Kana ソン, ヤルブン


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大坪, 昌久

× 大坪, 昌久

WEKO 6637

ja 大坪, 昌久

ja-Kana オオツボ, マサヒサ

en Otsubo, Masahisa

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本田, 親久

× 本田, 親久

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本田, 親久

ja-Kana ホンダ, チカヒサ

en Honda, Chikahisa

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川尻, 晋平

× 川尻, 晋平

WEKO 15997

ja 川尻, 晋平

ja-Kana カワシリ, シンペイ

en Kawashiri, Shinpei


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Yang, Jong Hwan

× Yang, Jong Hwan

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en Yang, Jong Hwan

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Inoue, Daishi

× Inoue, Daishi

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en Inoue, Daishi

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成, 烈汶

× 成, 烈汶

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en Sung, Youl-Moon
Sung, Youl Moon

ja 成, 烈汶

ja-Kana ソン, ヤルブン


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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Recently, the big diameter making of the wafer is rapidly advanced with the ultrafine processing
technology of 0.1μm in the minimum in recent semiconductor manufacturing process line width in the
process of the semiconductor. Then, the plasma source by which a uniform process in a large area can
be done is requested. Then, the NLD (Neutral Loop Discharge) plasma was proposed. Because the
NLD plasma can dynamically control impossible plasma in past plasma, a highly effective process
can be done. However, it is a current state of being limited from the structure only to the etching field
now, We have aimed to pioneer the NLD plasma to a new field by applying a peculiar concept of the
NLD plasma to the CNT (Carbon Nanotubes) making.
言語 en
書誌情報 ja : 宮崎大学工学部紀要
en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki

巻 35, p. 101-106, 発行日 2006-08-30
出版者
出版者 宮崎大学工学部
言語 ja
出版者
出版者 Faculty of Engineering, University of Miyazaki
言語 en
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 05404924
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA00732558
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
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Ver.3 2023-07-29 10:49:50.417089
Ver.2 2023-07-29 10:39:56.109803
Ver.1 2023-05-15 11:45:52.059710
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川尻, 晋平, 楊, 鍾煥, 井上, 大士, 成, 烈汶, 大坪, 昌久, Honda, Chikahisa, 川尻, 晋平, Yang, Jong Hwan, Inoue, Daishi, 成, 烈汶, 2006, 磁気中性線放電プラズマを用いたカーボンナノチューブの作製: 宮崎大学工学部, 101–106 p.

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