WEKO3
アイテム
窒素イオン注入Si及びSi酸化膜端に生じる格子欠陥の観察と評価
http://hdl.handle.net/10458/410
http://hdl.handle.net/10458/41083cc1985-f702-4cac-88b7-e60fb6213b52
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KJ00004439485.pdf (1.1 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2007-06-28 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 窒素イオン注入Si及びSi酸化膜端に生じる格子欠陥の観察と評価 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | TEM Observation of Lattice Defects in Si Generated by the Nitrogen Ion Implantation and by the Oxide Film | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Nitrogen ion implantation, Silicon, Oxide film, TEM, Dislocations | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | チッソ イオン チュウニュウ Si オヨビ Si サンカマクタン ニ ショウジル コウシ ケッカン ノ カンサツ ト ヒョウカ | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| 著者 |
木原, 幸太郎
× 木原, 幸太郎× 黒木, 正子× 福森, 太一郎× 明石, 義人× 二神, 光次× Kihara, Koutarou× 黒木, 正子× Fukumori, Taichiro |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Abstract The damage generated by nitrogen ion implantation into silicon wafer was recovered by heat treatment, and research of seeing the recovery process was done. Lattice defects at the edges of the nitrogen ion implanted region and of oxide film were observed by TEM(Transmission Electron Microscope) after the heat-treatment. At the edge of the implanted region segregations, may be nitrides, were observed, while at the edge of the oxide film dislocations concentrated along a line were observed. The number of dislocations observed at the film edge were decreased with annealing temperature, and only a few dislocations were observed in the specimen annealed at 550℃. |
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| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 35, p. 37-40, 発行日 2006-08-30 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
