WEKO3
アイテム
原子層エピタキシーによるInAs/GaAsとGaP/GaAsへテロ構造、歪超格子の成長機構の研究
http://hdl.handle.net/10458/362
http://hdl.handle.net/10458/36217583975-6679-4922-b6c9-0312342d89e1
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KJ00003579353.pdf (622.8 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2007-06-28 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 原子層エピタキシーによるInAs/GaAsとGaP/GaAsへテロ構造、歪超格子の成長機構の研究 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | A comparative study of the growth mechanism of InAs/GaAs and GaP/GaAs heterostructures and strained layered superlattices by atomic layer epitaxy | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Growth method, Atomic layer epitaxy, Semiconducting, III-V materials | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | ゲンシソウ エピタキシー ニ ヨル InAs/GaAs ト GaP/GaAs ヘテロ コウゾウ ワイチョウコウシ ノ セイチョウ キコウ ノ ケンキュウ | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| 著者 |
原口, 智宏
× 原口, 智宏× 尾関, 雅志× 武内, 健× 原口, 智宏× Takeuchi, Takeshi |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Abstract A self-limiting mechanism in atomic layer epitaxy (ALE) has been investigated for the heterostructures and superlattices of III - V compounds. InAs/InAs(OO1), InAs/GaAs(OO1), GaAs/InAs(OO1), InxGa1-xAs/GaAs(OOl), GaP/GaP(OO1), and GaP/GaAs(OO1), (InAs)m(GaAs)n/GaAs(OO1) were grown by pulse-jet-epitaxy with trimethylgallium, trimethylindium, trisdimethylaminoarsine, trisdimethylaminophosophine, arsine and phosphine as source materials. The self-limiting mechanism was largely affected by lattice mismatch between epitaxial layer and the substrate and by an atomic level suface morphology. The incorporation of misfit dislocation at the heterointerface played an important role in the self-1limiting mechanism. The strained-layered superlattice of (InAs)m(GaAs)n enabled us to grow InGaAS Iayer with an effectively high indium composition. |
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| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 34, p. 31-36, 発行日 2005-08 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
