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MOVPE法によりGaAs基板上に成長したZnドープInAs膜のラマン分光法による評価
http://hdl.handle.net/10458/00010453
http://hdl.handle.net/10458/00010453aac09b7a-48d8-4974-947e-f63f803b1d37
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文 (1.7 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2022-12-06 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | MOVPE法によりGaAs基板上に成長したZnドープInAs膜のラマン分光法による評価 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Zn-doped InAs Films grown on GaAs Substrates Prepared by MOVPE method Evaluated by Raman Spectroscopy | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Raman | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Metamorphic growth | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | MOVPE | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Zn-doped | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | InAs | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | AFM | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
平田, 康史
× 平田, 康史× 中川, 翔太× 荒井, 昌和× 前田, 幸治× Hirata, Yasushi× Nakagawa, Shota |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | The crystallinity and the surface flatness of Zn-doped InAs thin film on a GaAs substrate were evaluated by Raman spectroscopy and atomic force microscope, respectively. The results showed that both crystallinity and flatness improved with increasing Zn flow rate up to 10 sccm. Above that level, both crystallinity and flatness deteriorated sharply. As for the thickness dependence, the crystallinity improved as the film thickness increased, and the trends of both results were consistent. | |||||
| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 51, p. 41-44, 発行日 2022-11-30 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 関連サイト | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://www.miyazaki-u.ac.jp/tech/research/memoirs/ | |||||
| 関連名称 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
