WEKO3
アイテム
RF マグネトロンスパッタリング法を用いた薄膜蛍光体の作製とその発光特性の評価
http://hdl.handle.net/10458/5878
http://hdl.handle.net/10458/5878daad6074-9811-419a-ba70-9ea1ea0e8910
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文 (663.1 kB)
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| アイテムタイプ | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||
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| 公開日 | 2020-06-21 | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | RF マグネトロンスパッタリング法を用いた薄膜蛍光体の作製とその発光特性の評価 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | Fabrication and Luminescence Properties of Thin Film Phosphor Prepared by RF Magnetron Sputtering Method | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||
| 主題 | Phosphate, RF magnetron sputtering, Europium, Thin film | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||
| 著者 |
藤原, 光二郎
× 藤原, 光二郎× 蛯原, 正裕× 横山, 宏有
WEKO
12635
× 前田, 幸治
WEKO
12047
× 藤原, 光二郎× 蛯原, 正裕× Yokohama, Hirosumi |
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| 抄録 | ||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||
| 内容記述 | The crystalline Sr(Al2Si2O8) films on quartz glass substrate were grown by a RF magnetron sputtering method. Al2O3 and SrAl2O4 powder were used for the targets. The crystalized Al2O3 buffer layer needs to crystalize the thin film on quartz glass substrate. The deposited thin film was annealed at 1150℃ in H2/Ar gas for the improvement the crystallinity. The annealed film were identified a mixed phases of both crystalline SiO2 and Sr(Al2Si2O8). The existence of Eu2+ and Eu3+ ions in the films were confirmed by photoluminescence emission of broad peak at 380 nm and that of weak peaks at about 600 nm respectively. These results indicated that the embedded Al2O3 buffer layers and the annealing treatments were important in the emission of Eu2+ ions in Sr(Al2Si2O8) film. | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| bibliographic_information |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 45, p. 91-94, 発行日 2016-07-31 |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||||||||||||||
| item_10002_source_id_11 | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||
