WEKO3
アイテム
真空紫外 CVD を用いた光学素子基板の平坦化処理技術に関する研究
http://hdl.handle.net/10458/5568
http://hdl.handle.net/10458/5568c0b6f773-bbc8-4ba8-98d0-1e1d9faf7f77
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文 (747.5 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||
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| 公開日 | 2020-06-21 | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | 真空紫外 CVD を用いた光学素子基板の平坦化処理技術に関する研究 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | Flattening Treatment of Substrate for Optical Components Using the Vacuum Ultraviolet CVD | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||
| 主題 | Vacuum ultraviolet CVD, Deposition, Nd:YAG laser, Laser damage resistance | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||||||||||||||
| その他のタイトル | シンクウ シガイ CVD オ モチイタ コウガク ソシ キバン ノ ヘイタンカ ショリ ギジュツ ニカンスル ケンキュウ | |||||||||||||||||
| 著者 |
川添, 圭祐
× 川添, 圭祐× 柳井, 秀仁× 桑水流, 康記× 小野, 聡一郎× 長川, 裕耶× 亀山, 晃弘
WEKO
13615
× 横谷, 篤至
WEKO
12038
× 川添, 圭祐× 柳井, 秀仁× Kuwazuru, Yasunori× 小野, 聡一郎× 長川, 裕耶 |
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| 抄録 | ||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||
| 内容記述 | In order to shorten the processing period for polishing of substrates for optical components, we have developed a technique of flattening treatment of the substrate utilizing the vacuum ultraviolet method. The flattening property and the laser damage resistance of the treated substrate have been evaluated. Substrate with scratches in one direction was used for the flattening treatment. As a result, scratches with widths less than 0.5 μm were found to be covered smoothly after the 40 minute-deposition. Experiments to evaluate the laser damage resistance of the treated substrates were performed by the fourth harmonic and the second harmonic of Nd:YAG laser. The results indicated that the some of obtained values were high enough compared to the damage threshold of the dielectric multilayer films asuming to use for the high-reflactance mirrors. In the evaluation of laser damage resistance, it was found that a tendency of peeling of the film was due to differences in the absorption coefficient of the two laser wavelengths. | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 44, p. 83-86, 発行日 2015-07-31 |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||
