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  1. 教育学部・大学院教育学研究科
  1. 教育学部・大学院教育学研究科
  2. 学術雑誌掲載論文  (教育学部)

低圧高周波プラズマCVDにおける薄膜形成装置の開発

http://hdl.handle.net/10458/5016
http://hdl.handle.net/10458/5016
a31d2d73-3a2a-4ca3-80a0-113fcac3bb0f
Item type 会議発表論文 / Conference Paper(1)
公開日 2020-06-21
タイトル
タイトル Development of Low-Pressure High-Frequency Plasma Chemical Vapor by Thin Film Deposition System
言語 en
タイトル
タイトル 低圧高周波プラズマCVDにおける薄膜形成装置の開発
言語 ja
言語
言語 eng
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 Ar+O_2混合ガス, フレキシブル太陽電池, プラズマCVD, 表面処理, 低圧, Argon+Oxygen mixture gas, Flexible solar cell, Plasma CVD, Surface treatment, low-pressure
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_5794
資源タイプ conference paper
アクセス権
アクセス権 metadata only access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_14cb
著者 津田, 勇

× 津田, 勇

WEKO 21576

ja 津田, 勇

ja-Kana ツダ, イサム

en Tsuda, Isamu


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湯地, 敏史

× 湯地, 敏史

WEKO 24
e-Rad_Researcher 80418988

ja 湯地, 敏史

ja-Kana ユジ, トシフミ

en Yuji, Toshifumi
Yuji, Tosifumi


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木之下, 広幸

× 木之下, 広幸

WEKO 29
e-Rad_Researcher 80295196

ja 木之下, 広幸

ja-Kana キノシタ, ヒロユキ

en Kinoshita, Hiroyuki


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岡村, 好美

× 岡村, 好美

WEKO 27

ja 岡村, 好美

ja-Kana オカムラ, ヨシミ

en Okamura, Yoshimi


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Nuchuay, Peerapong

× Nuchuay, Peerapong

WEKO 21580

en Nuchuay, Peerapong


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Thungsuk, Nuttee

× Thungsuk, Nuttee

WEKO 21581

en Thungsuk, Nuttee

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Mungkung, Narong

× Mungkung, Narong

WEKO 197

en Mungkung, Narong


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Kasayapanand, Nat

× Kasayapanand, Nat

WEKO 21583

en Kasayapanand, Nat


Search repository
津田, 勇

× 津田, 勇

WEKO 21576

ja 津田, 勇

ja-Kana ツダ, イサム

en Tsuda, Isamu


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書誌情報 ja : プラズマ研究会資料
en : The Papers of Technical Meeting on Plasma Science and Technology, IEE Japan

巻 2014, 号 29, p. 53-58, 発行日 2014-05
出版者
出版者 電気学会
言語 ja
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Ver.1 2023-05-15 10:31:30.160761
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