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半導体材料の機械研磨 : TEM 用試料の作製に向けて
http://hdl.handle.net/10458/2320
http://hdl.handle.net/10458/2320114bfa15-84bf-485f-bac7-04b9bb3f7603
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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06-2-6.pdf (431.1 kB)
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| Item type | 報告書 / Research Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2009-09-24 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 半導体材料の機械研磨 : TEM 用試料の作製に向けて | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 断面観察, TEM, 機械研磨 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| 研究代表者 |
原口, 智宏
× 原口, 智宏 |
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| 他の資源との関係 | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 関連名称 | http://www.teng.miyazaki-u.ac.jp/action/action2006/tech_houkoku/pdf_data/2006_06_haraguchi.pdf | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
