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スプレー熱分解法によるFTO系透明導電膜の作成
http://hdl.handle.net/10458/2387
http://hdl.handle.net/10458/2387453e7769-cf3a-4d69-a76d-4ad2b22795a4
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
KJ00005629839.pdf (3.8 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2009-10-29 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | スプレー熱分解法によるFTO系透明導電膜の作成 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Growth of FTO transparent conductive films deposited by spray pyrolysis method | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | FTO, Spray pyrolysis method, Transparent conducting film, Electrical resistivity | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | スプレーネツ ブンカイホウ ニヨル FTO ケイ トウメイ ドウデンマク ノ サクセイ | |||||
| 著者 |
小嶋, 稔
× 小嶋, 稔× 竹元, 裕仁× 吉野, 賢二× 碇, 哲雄× Oshima, Minoru× Takemoto, Yujin |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Transparent conducting thin films of fluorine-doped SnO_2 (FTO) were deposited on glass substrates by spray pyrolysis technique in order to find out the effect of solution concentration. These films were prepared using various fluorine concentrations from 0 to 5 mol%. The films were all polycrystalline with tetragonal crystal structures. The best electro-optic properties, average transmittance of 82 % and resistivity of 1.4 × 10^-3 Ωcm, carrier concentration of 6.2 × 10^20 cm^-3, mobility of 7.1 cm^2/Vs, were achieved with fluorine doing concentration of 4 mol% at substrate temperature of 500℃. | |||||
| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 38, p. 109-116, 発行日 2009-09-30 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
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Cite as
小嶋, 稔, 竹元, 裕仁, 吉野, 賢二, 碇, 哲雄, Oshima, Minoru, Takemoto, Yujin, 2009, スプレー熱分解法によるFTO系透明導電膜の作成: 宮崎大学工学部, 109–116 p.
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