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ラマン分光法及びX線回折法を用いた太陽電池用シリコン薄膜の結晶性評価
http://hdl.handle.net/10458/2386
http://hdl.handle.net/10458/238698825eeb-00b9-47fe-b9b4-054b1e013152
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
KJ00005629819.pdf (2.3 MB)
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| アイテムタイプ | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2009-10-29 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | ラマン分光法及びX線回折法を用いた太陽電池用シリコン薄膜の結晶性評価 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Crystallinity of uc-Si films for solar cell application studied by Raman spectroscopy and X-ray diffraction methods | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | uc-Si, Thin film solar cells, Raman, XRD, Crystallinity, Grain size | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | ラマン ブンコウホウ オヨビ エックスセンカイセツホウ オ モチイタ タイヨウデンチ ヨウ シリコンハクマク ノ ケッショウセイ ヒョウカ | |||||
| 著者 |
奥田, 浩章
× 奥田, 浩章× 片地, 秀蔵× 前田, 幸治× 西岡, 賢祐× Okuda, Hiroaki× Katachi, Shuzo× Nishioka, Kensuke |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Structural analyses on microcrystalline silicon (μc-Si) films for thin-film silicon solar cell applications prepared by plasma CVD method were studied. Raman spectroscopy and X-ray diffraction method (XRD) were used. The crystallinities of μc-Si films were decided by the intensity ratio in the separated peak of the Raman spectra. Grain size of <111> direction obtained by XRD increased as the crystallinity of the film increased. The crystalline face of μc-Si oriented <111> direction to the substrate. The distribution of c-Si in the film was evaluated Raman spectrum excited from the three kind of wavelength lasers which have the different penetration depth. We could show nondestructively that the crystallinity of film is increased as closing upon the front surface. | |||||
| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 38, p. 103-107, 発行日 2009-09-30 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
