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スプレー熱分解法による低抵抗FTO系透明導電膜の作製
http://hdl.handle.net/10458/3193
http://hdl.handle.net/10458/31937f7f28ff-9972-4769-96cc-3ff001cccfeb
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
engineering39-10.pdf (1.3 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-02-25 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | スプレー熱分解法による低抵抗FTO系透明導電膜の作製 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Low Resistivity of FTO Thin Film Grown by Spray Pyrolysis Method | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | FTO, Spray pyrolysis method, Transparent conducting film, Electrical resistivity | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | スプレーネツ ブンカイホウ ニヨル テイテイコウ FTOケイ トウメイ ドウデンマク ノ サクセイ | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| 著者 |
小嶋, 稔
× 小嶋, 稔× 竹元, 裕仁× 吉野, 賢二× 碇, 哲雄× Oshima, Minoru× Takemoto, Yujin |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Transparent conducting oxide films of fluorine-doped SnO2 (FTO) were deposited on glass substrates by spray pyrolysis technique in order to find out the effect of solution concentration. These films were prepared using various fluorine concentrations from 0 to 33 mol%. The films indicated all polycrystalline with tetragonal crystal structures. The best electro-optic properties, average transmittance of 82 % and resistivity of 4.0×10^-4 Ωcm, carrier concentration of 4.7×10^20 cm^-3, mobility of 34 cm^2/Vs, were achieved with fluorine doing concentration of 17 mol% at substrate temperature of 500℃. | |||||
| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 39, p. 57-64, 発行日 2010-09-30 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
