WEKO3
アイテム
複数の励起光を用いたラマン分光法による微結晶シリコン薄膜の評価
http://hdl.handle.net/10458/4113
http://hdl.handle.net/10458/4113c93a6b5c-dc3d-4c63-b90a-c378b37f9251
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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engineering41_161-165.pdf (809.4 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2012-11-01 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 複数の励起光を用いたラマン分光法による微結晶シリコン薄膜の評価 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Structure of Microcrystalline Silicon Film Determined from Raman Spectra Excited by Some Wavelength Lights | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | μc-Si, Thin film solar cells, Raman, Crystallinity | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | フクスウ ノ レイキコウ オ モチイタ ラマン ブンコウホウ ニヨル ビケッショウ シリコン ハクマク ノ ヒョウカ | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| 著者 |
和田, 翔樹
× 和田, 翔樹× 前田, 幸治× 西岡, 賢祐× Wada, Syoki× Nishioka, Kensuke |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Structural analyses on microcrystalline silicon (μc-Si) films for thin film silicon solar cell applications prepared by plasma CVD method were studied. The crystallinity of μc-Si films were determined by the intensity ratio in the amorphous Si (a-Si) and crystalline Si (c-Si) peak of the Raman spectrum excited from four kinds of wavelength lasers which have the different penetration depth. We could nondestructively detect that the crystallinity of the films were increased as closing upon the front surface. In addition, we tried to calculate the Raman intensity ratio of a-Si and c-Si using a simple structural model of μc-Si. In the high crystallinity the results of observed crystallinity from Raman spectra are consistent with the calculation from the model, but in the low crystallinity these are not consistent with that from our model yet. | |||||
| 言語 | en | |||||
| bibliographic_information |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 41, p. 161-165, 発行日 2012-07-30 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| item_10002_source_id_11 | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 出版タイプ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
