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Dependence of oxygen flow rate on piezoelectric photothermal spectra of ZnO thin films grown by a reactive plasma deposition
http://hdl.handle.net/10458/5098
http://hdl.handle.net/10458/50984ed7bda2-fc33-4d5c-9442-0135a674ed7f
| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2020-06-21 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Dependence of oxygen flow rate on piezoelectric photothermal spectra of ZnO thin films grown by a reactive plasma deposition | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| キーワード | ZnO, Reactive plasma deposition, Piezoelectric photothermal spectroscopy | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| 著者 |
掛野, 崇
× 掛野, 崇× 境, 健太郎× 小牧, 弘典× 吉野, 賢二× 粟井, 清× 山本, 哲也× 碇, 哲雄× 掛野, 崇× 小牧, 弘典× Sakemi, H× 粟井, 清× 山本, 哲也 |
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| 書誌情報 |
Materials Science and Engineering : B 巻 118, 号 1-3, p. 70-73, 発行日 2005-04 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Elsevier | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 09215107 | |||||
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Cite as
掛野, 崇, 境, 健太郎, 小牧, 弘典, 吉野, 賢二, 粟井, 清, 山本, 哲也, 碇, 哲雄, 掛野, 崇, 小牧, 弘典, Sakemi, H, 粟井, 清, 山本, 哲也, 2005, Dependence of oxygen flow rate on piezoelectric photothermal spectra of ZnO thin films grown by a reactive plasma deposition: Elsevier, 70–73 p.
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