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パルスレーザー照射欠陥のゲッタリング能力評価
http://hdl.handle.net/10458/238
http://hdl.handle.net/10458/238b083efd1-3fd7-487d-88b5-455d726f406a
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KJ00002419414.pdf (381.1 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2007-06-28 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | パルスレーザー照射欠陥のゲッタリング能力評価 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Evaluation of Gettering Power of Pulse Laser Induced Defects | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Silicon, Heavy metal impurity, Pulse laser induced defect, Gettering | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | パルス レー ザー ショウシャ ケッカン ノ ゲッタリング ノウリョク ヒョウカ | |||||
| 著者 |
椛島, 唯士
× 椛島, 唯士× 黒木, 正子× 福森, 太一郎× 明石, 義人× Kabashima, Tadashi× Kuroki, Masako× Fukumori, Taichiro |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | The pulse laser gettering, which is cleaner and more flexible processing, is investigated. The gettering power of the pulse laser induced defects is investigated by ESCA and SEM equipped with EDX. To examine the amount of Cu atoms at several depths in the wafers annealed at from 700°C to 1000°C after pulse laser irradiation, gettered amount of Cu is precisely mapped along the depth. In the wafer annealed at 700°C, Cu atoms are gettered only at the depth of 300 μm from the surface. The annealing at elevated temperatures decrease the amount of Cu at 300 μm and increase the amount at the shallower and the deeper depths, especially the deeper. And it is shown that the annealing at 1000°C can induce considerable gettering at the depth of 200 f1 m, which may be favorable for the fabrication. |
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| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 32, p. 25-29, 発行日 2003-07 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
