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イオンプレーティング法により作成した Ga-doped ZnO 薄膜の熱処理効果
http://hdl.handle.net/10458/3194
http://hdl.handle.net/10458/319429c435e8-0ac3-4f06-8325-ca9ac52cdb3c
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
engineering39-11.pdf (938.0 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-02-25 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | イオンプレーティング法により作成した Ga-doped ZnO 薄膜の熱処理効果 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Annealing Effects of Ga-doped ZnO Films Grown by a Ion-plating Deposition | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | ZnO, TCO, ion-plating, annealing | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | イオンプレーティングホウ ニヨリ サクセイ シタ Ga-doped ZnO ハクマク ノ ネツショリ コウカ | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| 著者 |
竹元, 裕仁
× 竹元, 裕仁× 吉野, 賢二× 碇, 哲雄× Takemoto, Yujin |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Transparent conducting Ga-doped ZnO (GZO) thin films were deposited on glass substrates by ion-plating method. The GZO films were annealed under O2 atmosphere at from 100℃ to 500℃. The samples prepared were identified as polycrystalline ZnO with hexagonal wurtzite structure, which was determined from consentience with XRD peaks and lattice constants of a JCPDS file. Both as-grown and annealed samples were oriented c-axis. Z-Max values of AFM measurement were decreased as increasing the annealed temperature. This showed that the surface roughness of the annealed films was decreased. The reason indicated that excess oxygen atoms were introduced into the films. | |||||
| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 39, p. 65-70, 発行日 2010-09-30 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
