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スプレー熱分解法によるFTO系透明導電膜の膜厚依存性
http://hdl.handle.net/10458/3192
http://hdl.handle.net/10458/31928a900013-3f69-4565-ad94-5732012440ab
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
engineering39-09.pdf (1.3 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-02-25 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | スプレー熱分解法によるFTO系透明導電膜の膜厚依存性 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Thickness Dependence of F-doped SnO2 Films Grown by Spray Method | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | FTO, Spray pyrolysis method, Transparent conducting film, Electrical resistivity | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | スプレー ネツブンカイホウ ニヨル FTOケイ トウメイ ドウデンマク ノ マクアツ イゾンセイ | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| 著者 |
小嶋, 稔
× 小嶋, 稔× 竹元, 裕仁× 吉野, 賢二× 碇, 哲雄× Oshima, Minoru× Takemoto, Yujin |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Transparent conducting thin films of fluorine-doped SnO2 were deposited on glass substrates by spray pyrolysis technique in order to find out the effect of film thickness. These films were prepared using fluorine concentrations of 17 mol% at substrate temperature of 500℃. Their electrical resistivity decreased although optical transmittance decreased with increasing the film thickness. | |||||
| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 39, p. 49-56, 発行日 2010-09-30 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
