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真空紫外光CVD法によるSiNx薄膜の低温作製
http://hdl.handle.net/10458/424
http://hdl.handle.net/10458/42411698c21-6538-4931-84d8-cb4e64d8e274
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KJ00004439499.pdf (763.9 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2007-06-28 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 真空紫外光CVD法によるSiNx薄膜の低温作製 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | SiNx thin film modification at low temperature by Vacuum ultraviolet-CVD method | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | VUV-CVD, Ar2 excimer lamp, SiNx film, SiH4, NH3, photo-annealing | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | シンクウ シガイコウ CVDホウ ニ ヨル SiNx ハクマク ノ テイオン サクセイ | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| 著者 |
甘利, 紘一
× 甘利, 紘一× 石村, 想× 横谷, 篤至× Amari, Kohichi× Ishimura, So |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Abstract We have developed a fabrication technique of SiNx films which is expected to use for diffusion protector of ultra thin gate oxide films in high density ICs for next generation by means of the VUV-CVD method. Using an Ar2* excimer lamp as a light source and SiH4 and NH3 as row materials, we could successfully obtained SiNx films at room temperature. The films obtained at a substrate temperature above 80℃ were chemically stable, whereas below 80℃ the obtained films are gradually decomposed and changed into SiOx film in the air ambient. For such an unstable film deposited at 50℃, we have found that photo-annealing by Ar2* excimer lamp after the deposition was quite effective to stabilize the chemical component of the film. |
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| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 35, p. 119-123, 発行日 2006-08-30 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
