WEKO3
アイテム
GaAs(001)表面における塩素分子の動的振舞いの解析
http://hdl.handle.net/10458/249
http://hdl.handle.net/10458/24963638859-0380-4f52-8375-2bde2291b268
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KJ00002425498.pdf (513.6 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2007-06-28 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | GaAs(001)表面における塩素分子の動的振舞いの解析 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Theoretical Analysis of Dynamical Behaviors of Cl_2 Molecule on GaAs(001) Surface | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Chlorine, GaAs, Etching, Simulation, Scattering | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | GaAs(001) ヒョウメン ニ オケル エンソ ブンシ ノ ドウテキ フルマイ ノ カイセキ | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| 著者 |
尾関, 雅志
× 尾関, 雅志× 清水, 雄一郎× Shimizu, Yuichiro |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Abstract Dynamical behaviors of Cl2, on GaAs(OO1) surface were studied by a newly developed trajectory simulation. A 256-atom six-layer slab of GaAs Surface, with periodic boundary conditions in two dimensions, is employed in the calculation. The simulations described the experimental result and provided some important insights into the energy exchange process at surface scattering, trapping/desorption process, and angle-resolved patterns of scattered Cl2 molecule on GaAs surface. |
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| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 32, p. 99-106, 発行日 2003-07 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
