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Surface morphology improvement by diethylzinc doping on metamorphic InAs on GaAs using MOVPE
http://hdl.handle.net/10458/0002000001
http://hdl.handle.net/10458/00020000016c136cfd-62f2-41b8-abdd-1af6d8dd4b0e
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
1-s2.0-S0022024823002002-main.pdf (2.2 MB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2023-06-19 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | Surface morphology improvement by diethylzinc doping on metamorphic InAs on GaAs using MOVPE | |||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| キーワード | A3. Low press, Metalorganic vapor phase epitaxy, B2. Semiconducting III-V materials, A1. Doping, A1. Crystal morphology, A1. Atomic force microscopy, B3. Infrared devices | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||
| 著者 |
荒井, 昌和
× 荒井, 昌和× Nakagawa, Shota× Hombu Koki
× Hirata, Yasushi× 前田, 幸治 |
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| 抄録 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||
| 内容記述 | We investigate the effect of diethylzinc doping on surface roughness during InAs growth on a GaAs substrate using metal-organic vapor phase epitaxy. Surface roughness was measured using atomic force microscopy and scanning electron microscopy. The surface flatness was considerably improved following the introduction of diethylzinc. Furthermore, we evaluate the Raman scattering and X-ray diffraction to investigate the crystallinity. The results confirm that diethylzinc doping effectively improves surface roughness. | |||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 書誌情報 |
en : Journal of Crystal Growth 巻 617, p. 127274 |
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| 出版者 | ||||||||||
| 出版者 | Elsevier | |||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| ISSN | ||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||
| 収録物識別子 | 00220248 | |||||||||
| ISBN | ||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | 10.1016/j.jcrysgro.2023.127274 | |||||||||
| DOI | ||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2023.127274 | |||||||||
| 権利 | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 権利情報 | © 2023 The Authors. Published by Elsevier B.V. | |||||||||
| 関連サイト | ||||||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2023.127274 | |||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 関連名称 | publisher's web site | |||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||
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Cite as
荒井, 昌和, Nakagawa, Shota, Hombu Koki, Hirata, Yasushi, 前田, 幸治, n.d., Surface morphology improvement by diethylzinc doping on metamorphic InAs on GaAs using MOVPE: Elsevier, 127274– p.
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