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Effect of substrate temperature on ZnO thin film fabrication by using an atmospheric pressure cold plasma generator
http://hdl.handle.net/10458/3243
http://hdl.handle.net/10458/3243c0d669ec-d2cb-4d40-8309-62099fbc57a7
| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-05-18 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Effect of substrate temperature on ZnO thin film fabrication by using an atmospheric pressure cold plasma generator | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| キーワード | zinc oxide, thin film, open-air plasma, barrier discharge | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| 著者 |
須崎, 嘉文
× 須崎, 嘉文× Kawaguchi, Akiou× Murase, Takehiko× 湯地, 敏史× Shikama, Tomokazu× Shin, Dong-Bum× Kim, Yoon-Kee |
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| 書誌情報 |
en : physica status solidi (C) en : Physica status solidi. C, Current topics in solid state physics : PSS 巻 8, 号 2, p. 503-505, 発行日 2011-02 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Wiley | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 18626351 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA12375141 | |||||
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Cite as
須崎, 嘉文, Kawaguchi, Akiou, Murase, Takehiko, 湯地, 敏史, Shikama, Tomokazu, Shin, Dong-Bum, Kim, Yoon-Kee, 2011, Effect of substrate temperature on ZnO thin film fabrication by using an atmospheric pressure cold plasma generator: Wiley, 503–505 p.
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