WEKO3
アイテム
有機ケイ素ポリマーとオゾンの反応を利用した酸化シリコン膜の高品質化
http://hdl.handle.net/10458/5335
http://hdl.handle.net/10458/533560bded15-5ce8-4cfb-aff1-39e51cd7c1a3
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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学位論文の要旨 (70.6 kB)
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論文審査結果の要旨 (75.9 kB)
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博士学位論文 (14.0 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2020-06-21 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 有機ケイ素ポリマーとオゾンの反応を利用した酸化シリコン膜の高品質化 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| 著者 |
伊藤, 拓也
× 伊藤, 拓也 |
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| 学位名 | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
| 学位授与機関識別子 | 17601 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 学位授与機関名 | 宮崎大学 | |||||
| 学位授与年度 | ||||||
| 内容記述 | 2014年度 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2015-03-24 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 農工総博甲第95号 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
