WEKO3
アイテム
Photothermal microscopy of silicon epitaxial layer on silicon substrate with depletion region at the interface
http://hdl.handle.net/10458/5200
http://hdl.handle.net/10458/5200ea8038ba-19f1-40a2-9aa2-f41e6bf87fd1
| アイテムタイプ | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2020-06-21 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | Photothermal microscopy of silicon epitaxial layer on silicon substrate with depletion region at the interface | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| キーワード | Photothermal effects, Epitaxy, Semiconductor surfaces, Silicon, Interface diffusion | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||||||||
| 著者 |
碇, 哲雄
× 碇, 哲雄
WEKO
7290
× Roger, J. P.× Fournier, D |
|||||||||||
| 書誌情報 |
Review of Scientific Instruments 巻 74, 号 1, p. 553-555, 発行日 2003-01 |
|||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||
| 出版者 | American Institute of Physics | |||||||||||
| ISSN | ||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||
| 収録物識別子 | 00346748 | |||||||||||
