WEKO3
アイテム
Photothermal microscopy of silicon epitaxial layer on silicon substrate with depletion region at the interface
http://hdl.handle.net/10458/5200
http://hdl.handle.net/10458/5200ea8038ba-19f1-40a2-9aa2-f41e6bf87fd1
| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
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| 公開日 | 2020-06-21 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Photothermal microscopy of silicon epitaxial layer on silicon substrate with depletion region at the interface | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| キーワード | Photothermal effects, Epitaxy, Semiconductor surfaces, Silicon, Interface diffusion | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| 著者 |
碇, 哲雄
× 碇, 哲雄× Roger, J. P.× Fournier, D |
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| 書誌情報 |
Review of Scientific Instruments 巻 74, 号 1, p. 553-555, 発行日 2003-01 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | American Institute of Physics | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 00346748 | |||||
