WEKO3
アイテム
パルスレーザー照射ゲッタリングのESCAによる評価
http://hdl.handle.net/10458/2377
http://hdl.handle.net/10458/23774f890acd-6576-4d56-a82e-a4aaac3328b0
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
KJ00005628659.pdf (3.3 MB)
|
|
| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2009-10-29 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | パルスレーザー照射ゲッタリングのESCAによる評価 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Evaluation of Pulse Laser Gettering by Electron Spectroscopy for Chemical Analysis | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | silicon, pulse laser gettering, ESCA | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | パルスレーザー ショウシャ ゲッタリング ノ ESCA ニヨル ヒョウカ | |||||
| 著者 |
日高, 洋美
× 日高, 洋美× 黒木, 正子× 明石, 義人× Hidaka, Hiromi× 黒木, 正子 |
|||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | The pulse laser gettering of silicon wafer is studied using the ESCA of high precision. After a pulse laser irradiation from the back surface, specimens are annealed at l000℃ for 30min, and the intentional Cu diffusion are applied to the specimens. The gettered amount of Cu atoms at several depths in the wafers are measured. From the measurement, it was found that the gettering defect induced by the pulse laser are intentionally formed at the depth of 400μm and 500μm from the surface. In this sample, mild getter sinks are formed at the depth of 500μm in the central part, while mighty getter sinks are formed at the depth of 400μm in a off center place. It is estimated that, though the depth where the sinks are induced are reproducible, the site where the sinks are induced are not reproducible. As the amount of Cu gettered at 200μm is obviously reduced after the gettering procedure, it is estimated that Cu atoms near surface are drawn into the mighty getter sinks inside the wafer. | |||||
| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 38, p. 45-51, 発行日 2009-09-30 |
|||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
