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アイテム
スプレー熱分解法で作成したIn-doped ZnO薄膜の熱処理による光学的、電気的性質
http://hdl.handle.net/10458/858
http://hdl.handle.net/10458/858e87426b8-0b98-4da0-92ff-c8a9e48af263
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KJ00004682888.pdf (732.9 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2007-10-30 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | スプレー熱分解法で作成したIn-doped ZnO薄膜の熱処理による光学的、電気的性質 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Electrical and optical properties of thermal treatment of In-doped ZnO thin film deposited by spray pyrolysis method | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | ZnO, spray, thermal treatment, XRD, SEM, Hall measurement | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | スプレー ネツブンカイホウ デ サクセイ シタ In-doped ZnO ハクマク ノ ネツショリ ニ ヨル コウガクテキ、 デンキテキ セイシツ | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| 著者 |
小山, 哲史
× 小山, 哲史× 吉野, 賢二× 碇, 哲雄× Oyama, Satoshi |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | In-doped ZnO thin film which were deposited by chemical spray pyrolysis performed thermal treatment in N2 atmosphere in temperature from 100 to 600℃ for 5min. These samples were characterized by x-ray diffraction (XRD), scanning electron microscope (SEM), optical transmittance and Hall measurement. In comparison to JCPDS card, as-deposited ZnO film was polycrystalline with a hexagonal wurtzite structure from the XRD measurement. This sample had an orientation in c-axis direction and an intensity of the orientation increased with increasing thermal treatment temperature. From the SEM images, a grain size was appeared to be constant with the increasing the temperature. As the result, grain boundary scattering of carriers decreased. Therefore, a mobility increased and a resistivity decreased with increasing the temperature. | |||||
| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 36, p. 195-201, 発行日 2007-08-30 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00732558 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
