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  1. 工学部
  1. 工学部
  2. 学術雑誌掲載論文 (工学部)

Applying Deep Reinforcement Learning to Semiconductor Manufacturing Scheduling Problems

http://hdl.handle.net/10458/0002002153
http://hdl.handle.net/10458/0002002153
6b85cfcd-9407-4062-ad5d-324577f6dcfb
名前 / ファイル ライセンス アクション
1-s2.0-S1877050925028984-main.pdf Fulltext (1.3 MB)
license.icon
アイテムタイプ 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2026-01-14
タイトル
タイトル Applying Deep Reinforcement Learning to Semiconductor Manufacturing Scheduling Problems
言語 en
言語
言語 eng
キーワード
言語 en
キーワード Deep Reinforcement Learning
キーワード
言語 en
キーワード Reentrant Flow Shop
キーワード
言語 en
キーワード Scheduling
キーワード
言語 en
キーワード Semiconductor Manufacturing
資源タイプ
資源タイプ journal article
アクセス権
アクセス権 open access
著者 Hashimoto, Kaito

× Hashimoto, Kaito

en Hashimoto, Kaito(Personal)
University of Miyazaki

Search repository
片山, 晋

× 片山, 晋

WEKO 13102
e-Rad_Researcher 80363571

ja 片山, 晋
宮崎大学

ja-Kana カタヤマ, ススム

en Katayama, Susumu
University of Miyazaki

Search repository
Arimura, Satoru

× Arimura, Satoru

en Arimura, Satoru(Personal)
LAPIS Semiconductor Co., Ltd.

Search repository
Hara, Kousuke

× Hara, Kousuke

en Hara, Kousuke(Personal)
LAPIS Semiconductor Co., Ltd.

Search repository
山場, 久昭

× 山場, 久昭

WEKO 14888
e-Rad_Researcher 60260741

ja 山場, 久昭
宮崎大学

ja-Kana ヤマバ, ヒサアキ

en Yamaba, Hisaaki
University of Miyazaki

Search repository
抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 In this paper, we proposed a scheduling method for semiconductor manufacturing systems by extending that for a job shop scheduling problem (JSSP) using deep reinforcement learning approach. The proposed method can handle the unique characteristics of the semiconductor manufacturing process, i.e., the reentrancy and the flexibility. The advantage of the proposed method is scalable and can effectively handle increasing problem sizes. From the results of experiments, we confirmed that even when small-sized tasks were used in the training, the scheduling performance for large-sized tasks was equal to or better than the case using large-sized tasks in the training.
言語 en
書誌情報 en : Procedia Computer Science

巻 270, p. 1071-1080, 発行日 2025
出版者
出版者 Elsevier B.V.
言語 en
ISSN
収録物識別子タイプ EISSN
収録物識別子 18770509
DOI
関連タイプ isVersionOf
識別子タイプ DOI
関連識別子 https://doi.org/10.1016/j.procs.2025.09.228
権利
権利情報 © 2025 The Author(s).
言語 en
著者版フラグ
出版タイプ VoR
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Ver.1 2026-01-14 01:28:27.424000
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