WEKO3
アイテム
p型Siにおける酸素析出物起因の欠陥分布マッピング
https://doi.org/10.34481/0002001939
https://doi.org/10.34481/0002001939afc384a6-46e6-4a47-8045-94f0b35ceb1f
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文 (1.6 MB)
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| アイテムタイプ | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2025-12-03 | |||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | p型Siにおける酸素析出物起因の欠陥分布マッピング | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Defect distribution mapping due to bulk micro defect in p-type Si | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | bulk micro defect | |||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | silicon | |||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | PL mapping | |||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | LH-PD mapping | |||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||||||
| ID登録 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| ID登録 | 10.34481/0002001939 | |||||||||||||||||||||||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
岩切, 孝洋
× 岩切, 孝洋
× 原田, 知季
× 碇, 哲雄
WEKO
7290
× 福山, 敦彦
WEKO
7289
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| 抄録 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | The purpose of this study is to confirm the usefulness of laser heterodyne photothermal displacement (LH-PD) mapping measurements for investigating bulk micro defects (BMD) and the cracks formed by these defects. It was found that the larger BMD density resulted in the larger LH-PD displacement. This is due to the smaller thermal conductivity of SiO2 in the BMD and the formation of interface levels between SiO2 and Si, enhancing non-radiative recombination. Three mapping measurements were carried out and compared to study the formation of cracks. They are LH-PD, Raman, and photoluminescence (PL) mapping. Although the Raman mapping could not observe signals from the cracks, the LH-PD and the PL mapping revealed clear images. A comparison of the PL and the LH-PD mapping shows a trade-off relationship. Although the observed PL integrated intensity at the cracks was larger than the matrix areas, the LH-PD displacement was smaller. It was also found that the time required for the LH-PD measurements was about one-fifth shorter than that for the PL mapping measurements. The results are understood by considering that the non-radiative recombination was enhanced in the BMD area. We found that the LH-PD mapping measurement can observe the BMD density faster than the PL mapping. | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
ja : 宮崎大学工学部紀要 en : Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 巻 54, p. 35-39, 発行日 2025-10-29 |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 宮崎大学工学部 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | Faculty of Engineering, University of Miyazaki | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 05404924 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||||||
