WEKO3
アイテム
Optical emission spectroscopy of atmospheric pressure cold plasma and fabrication of ZnO films
http://hdl.handle.net/10458/3245
http://hdl.handle.net/10458/32457a569834-807c-4657-9cc5-98bca587e56a
| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
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| 公開日 | 2011-05-18 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Optical emission spectroscopy of atmospheric pressure cold plasma and fabrication of ZnO films | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| キーワード | Plasma deposition, Zinc oxide, Atmospheric pressure cold plasma, He & O2 gases | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| 著者 |
Shin, Dong-Bum
× Shin, Dong-Bum× Kawaguchi, Akiou× Murase, Takehiko× 湯地, 敏史× Shikama, Tomokazu× Kim, Yoon-Kee× 須崎, 嘉文 |
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| 書誌情報 |
en : Frontier of Applied Plasma Technology 巻 3, 号 2, p. 126-129, 発行日 2010-07 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | IAPS : Institute of Applied plasma science | |||||
| 言語 | en | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 18835589 | |||||
