2026-03-13T20:40:14Z https://miyazaki-u.repo.nii.ac.jp/oai

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真空紫外 CVD を用いた光学素子基板の平坦化処理技術に関する研究 Flattening Treatment of Substrate for Optical Components Using the Vacuum Ultraviolet CVD シンクウ シガイ CVD オ モチイタ コウガク ソシ キバン ノ ヘイタンカ ショリ ギジュツ ニカンスル ケンキュウ 川添, 圭祐 カワゾエ, ケイスケ Kawazoe, Keisuke 川添 カワゾエ Kawazoe 圭祐 ケイスケ Keisuke 柳井, 秀仁 ヤナイ, ヒデノリ Yanai, Hidenori 柳井 ヤナイ Yanai 秀仁 ヒデノリ Hidenori 桑水流, 康記 クワズル, ヤスノリ Kuwazuru, Yasunori 桑水流 クワズル Kuwazuru 康記 ヤスノリ Yasunori 小野, 聡一郎 オノ, ソウイチロウ Ono, Souichirou 小野 オノ Ono 聡一郎 ソウイチロウ Souichirou 長川, 裕耶 ナガカワ, ユウヤ Nagakawa, Yuya 長川 ナガカワ Nagakawa 裕耶 ユウヤ Yuya 00264367 亀山, 晃弘 カメヤマ, アキヒロ Kameyama, Akihiro 亀山 カメヤマ Kameyama 晃弘 アキヒロ Akihiro 宮崎大学 University of Miyazaki 00183989 横谷, 篤至 ヨコタニ, アツシ Yokotani, Atsushi 横谷 ヨコタニ Yokotani 篤至 アツシ Atsushi 宮崎大学 University of Miyazaki 川添, 圭祐 カワゾエ, ケイスケ Kawazoe, Keisuke 川添 カワゾエ Kawazoe 圭祐 ケイスケ Keisuke 柳井, 秀仁 ヤナイ, ヒデノリ Yanai, Hidenori 柳井 ヤナイ Yanai 秀仁 ヒデノリ Hidenori Kuwazuru, Yasunori 小野, 聡一郎 オノ, ソウイチロウ Ono, Souichirou 小野 オノ Ono 聡一郎 ソウイチロウ Souichirou 長川, 裕耶 ナガカワ, ユウヤ Nagakawa, Yuya 長川 ナガカワ Nagakawa 裕耶 ユウヤ Yuya Vacuum ultraviolet CVD, Deposition, Nd:YAG laser, Laser damage resistance In order to shorten the processing period for polishing of substrates for optical components, we have developed a technique of flattening treatment of the substrate utilizing the vacuum ultraviolet method. The flattening property and the laser damage resistance of the treated substrate have been evaluated. Substrate with scratches in one direction was used for the flattening treatment. As a result, scratches with widths less than 0.5 μm were found to be covered smoothly after the 40 minute-deposition. Experiments to evaluate the laser damage resistance of the treated substrates were performed by the fourth harmonic and the second harmonic of Nd:YAG laser. The results indicated that the some of obtained values were high enough compared to the damage threshold of the dielectric multilayer films asuming to use for the high-reflactance mirrors. In the evaluation of laser damage resistance, it was found that a tendency of peeling of the film was due to differences in the absorption coefficient of the two laser wavelengths. 宮崎大学工学部 Faculty of Engineering, University of Miyazaki 2015-07-31 jpn departmental bulletin paper VoR http://hdl.handle.net/10458/5568 https://miyazaki-u.repo.nii.ac.jp/records/4719 AA00732558 05404924 宮崎大学工学部紀要 Memoirs of Faculty of Engineering, University of Miyazaki 44 83 86 https://miyazaki-u.repo.nii.ac.jp/record/4719/files/engineering44_83-86.pdf application/pdf 747.5 kB 2020-06-21